Halfgeleider profiel thermokoppel

Type: S, r
Diameter van draad of mims: φ {{{0}}. 35 ~ 0.5
Werkende temp (graad): 0 ~ 1100
Aantal punten: 3 ~ 6 punten
Toepassing: temperatuurregeling voor het productieproces van de fotovoltaïsche cellen (PV) cellen.

Sollicitatie

De oxidatiediffusie -oven is een belangrijke procesapparatuur voor de productie van PV -cellen. Het combineert en verspreidt sporenhoeveelheden boor-, fosfor- en andere elementen op de siliciumwafer bij hoge temperaturen om PN -knooppunten te bereiden en componeert geïntegreerde circuits ervan. Het kan ook worden gebruikt om SIOX -films op het oppervlak van de siliciumwafer te bereiden om wafels te beschermen. Het is gebruikelijk om thermokoppels te gebruiken die zowel de binnen- als de buitenste delen van de oven meten om de binnentemperatuur van de diffusie -oven te regelen die het oxidatieproces zou kunnen uitvoeren. Elke gespecificeerde temperatuurzone heeft een buiten- en binnenste thermokoppel om ervoor te zorgen dat de resultaten van de maat betrouwbaar zijn. De multipoint nobele metaalkwarts thermokoppels worden gebruikt om de wafertemperatuur te meten, het heeft meestal 3 ~ 9 meetpunten, die de wafertemperatuur nauwkeurig vertegenwoordigen.

Productenbeschrijving

Daartoe hebben Duchin gepatenteerde technieken en producten ontwikkeld zoals multipoint edelmetaalkwarts thermokoppel voor temperatuurmeting van de gehele sectie in de diffusie-oven, een kalibratieapparaat voor multi-punts thermokoppel.

Het product heeft enkele eigenschappen van betrouwbare temperatuurmeting, hoge nauwkeurigheid, goede stabiliteit, snelle thermische respons, anti-interferentie, impactweerstand met hoge en lage temperatuur, lange levensduur, enzovoort. De technische parameters van het thermokoppel van het halfgeleiderprofiel zijn als volgt:

Technische parameters	Halfgeleider profiel thermokoppel
Type	S,R
Draad- of MIMS -diameter	φ0.35~0.5
Werkende temp (graad)	0~1100
Nauwkeurigheid (graad)	±1.0
Beschermende buislengte (mm)	Minder dan of gelijk aan 4000
Beschermende buisdiameter (mm)	φ12~18
Beschermend buismateriaal	Kwarts
Hot End -structuur	Blootgesteld
Aantal punten	3 ~ 6 punten
Beëindiging	Kleine connector
Compensatiedraad	Sc {{{0}} × 0.5fpf
Structuurkenmerken	T/c in combinatie voor elk punt samenstellen is vrij moeilijk