De diffusie-oven die het oxidatieproces zou kunnen uitvoeren, is samengesteld uit een ovenframe, een verwarming, een verwarmingsregelapparaat, een temperatuurmaatapparaat, een Quartz-ovenbuis, een push-pull dragervak, wat gaspad en een uitlaatgasbehandelingsapparaat. De temperatuurregelingseisen van dit soort diffusie -ovens zijn als volgt:

Verwarmingstemperatuurbereik	Ambient -1100 graad	Controle nauwkeurigheid	± 2 graden
Max verwarmingssnelheid	15 graden /min	Temp -uniformiteit	± 0. 5 graad /760mm
Max koelsnelheid	5 graden /min	Stabiliteit	± 0. 5 graad /24h

De oxidatiediffusie -oven gebruikt in het algemeen thermokoppels binnen en buiten de oven om de temperatuur dynamisch te regelen. Elke temperatuurzone is uitgerust met één binnen en één buiten thermokoppel om de betrouwbaarheid van de temperatuurregeling te waarborgen. S type halfgeleider thermokoppel (gewone praktijk maakt gebruik van multi-punts thermokoppel met 3-9 verschillende plekken om temperatuurinformatie te pakken) wordt vaak gekozen als het binnenkant van het thermokoppel dat wordt gebruikt om de temperatuur van siliciumwafer rechtstreeks te voelen en vertalen om de wafelkast temperatuurweergave te nauwgezet.

Productenbeschrijving

Duchin-instrument ontwikkelde soorten structuren voor multi-point thermocouple, multi-point thermocouple-kalibratieapparatuur voor experimenten, een type cold-junctie structuur formulti-punt thermocouple, een type terminal verpakkingsstructuur voor multi-point thermocouple, soorten composietmetaalbuis van multi-point thermocouple voor oxidatie-oxidatie-ov-ov-ov-ov-ov-oxidatie-ov-ov-oxidatie-ov-ov-ov-oxidatie-ov-ov-ov-ov-oxidatie-ov-ov-ov-ov-ov-ov-ov-oxidatie-ov-ov-ovitegroot detectie. De technische parameters van het S -type halfgeleider thermokoppel gespecialiseerd voor fotovoltaïsche apparatuur zijn als volgt:

Technische parameters	Intern thermokoppel
Type	S,R
Draad- of MIMS -diameter	φ0.35~0.5
Werkende temp (graad)	0~1100
Nauwkeurigheid (graad)	±1.0
Beschermende buislengte (mm)	Minder dan of gelijk aan 4000
Beschermende buisdiameter (mm)	φ12~18
Beschermend buismateriaal	Kwarts
Hot End -structuur	Blootgesteld
Aantal punten	3 ~ 6 punten
Beëindiging	Kleine connector
Compensatiedraad	Sc {{{0}} × 0.5fpf
Structuurkenmerken	T/c in combinatie voor elk punt samenstellen is vrij moeilijk